ハンドウタイ リッコク ニホン : ドクソウテキ ナ ソウチ ガ キズキアゲタ キロク
「半導体立国」日本 : 独創的な装置が築きあげた記録 / 日本半導体製造装置協会編
| 出版者 | 東京 : 日刊工業新聞社 |
|---|---|
| 出版年 | 1991.11 |
| 大きさ | xii,403p ; 20cm |
目次
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| 一般注記 | 監修:垂井康夫 |
|---|---|
| NCID | BN07021660 |
| 本文言語 | 日本語 |
| 著者標目 | 日本半導体製造装置協会 <ニホン ハンドウタイ セイゾウ ソウチ キョウカイ> |
| 分 類 | NDC8:549.8 |
| 件 名 | BSH:半導体 NDLSH:半導体 |
| ISBN | 4526030422 |
| 書誌ID | BB00317553 |
| 巻冊次 | ISBN:4526030422 ; PRICE:2000円 |